用广义Rayleigh波测量压电薄膜结构的初应力
刘华, 王铁军, 王子昆
（西安交通大学，710049，西安)

摘要：通过求解考虑初应力时的耦合波动方程, 研究了覆盖层为各向同性材料、基底为横观各向同性压电材料的压电层状结构中广义Rayleigh波传播时初应力和相速度的关系．结果表明, 对于给定的材料参数和薄膜厚度, 通过测量薄膜结构中的声表面波传播速度即可确定薄膜中的初应力, 这对声表面波器件设计及薄膜结构的力学性能分析具有理论意义和实际应用价值．
关键词：初应力；薄膜；压电介质；广义Rayleigh波 ；相速度
中图分类号：TQ328.3
文献标识码：A