0.12μm至1.2μm振动测量技术研究
乐开端，贾书海，谭玉山
（西安交通大学，710049，西安)

摘要：采用电子散斑时间平均法振动测量原理，通过Bessel函数的余弦近似和对参考振动的振动相位和振幅的控制，并实施三步相移，从而实现了振幅的定量计算，使得振幅在0.12μm至1.2μm间的振动精确定量测量成为可能，其测量精度较云纹估算法有很大提高．该系统具有全场、非接触、测量速度快、测量精度高等优点．
关键词：相移；振动测量；电子散斑
中图分类号：O329
文献标识码：Ａ