特种压阻式加速度传感器的研制
赵立波1,2,赵玉龙1,2,蒋庄德1,2
(1.西安交通大学机械工程学院，710049,西安;2.西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,710049,西安）
摘要:通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20km／s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.
关键词:微型机械电子系统;固态压阻平膜芯片;弹性梁;高过载;加速度传感器
中图分类号:TP212文献标识码:A文章编号:0253-987X(2006)09-1049-04