变间隙不接触三电极薄膜材料介电参数的测量
刘英1,王磊1,曹晓珑1,李兆林2
(1.西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室，710049,西安；2.桂林电力电容器总厂，541004,桂林）
摘要:利用自行研制的高精度变间隙不接触三电极系统，研究了在薄膜材料(厚度小于30μm)相对电容率(εr)和介质损耗角正切(tanδ)测量中的相关技术问题，包括试样厚度测量的准确度，薄膜多层总厚度的合理选择，试样与电极间预留空气间隙的大小等.此外，还对两种不接触电极方法（变间隙法和变电容法）作了比较，分析了各自的优缺点及适用范围.研究结果表明，空气介质的变间隙不接触电极方法可成功应用于板材和薄膜试样εr和tanδ的测量，εr的测量值误差可控制在5%以内，tanδ可测到10-5数量级.
关键词:空气介质；变间隙；不接触三电极；介电参数；薄膜
中图分类号:TM930.12文献标识码:A文章编号:0253-987X(2006)06-0704-05