步进闪光压印光刻模具制作工艺研究
李寒松，丁玉成，卢秉恒
（西安交通大学制造系统工程国家重点实验室，710049,西安）
摘要:由于硅橡胶具有良好的自适应性和优异的脱模性，所以选取硅橡胶作为模具材料，并确定使用硅橡胶加石英硬衬作为压印光刻工艺的模具.分析了硅橡胶模具制作工艺中真空辅助浇铸的成型过程，以及交联固化反应过程的各个工艺参数对硅橡胶模具性能的影响，通过大量实验，具体分析了硅橡胶单体和固化剂配比、浇铸真空压力、固化温度及固化时间等工艺参数，并由此得到了优化的硅橡胶固化工艺参数，提高了硅橡胶模具的物理性能.实验表明，硅橡胶模具具有良好的自清洁功能，其表面图形完好，图形转移效果优异，完全能够满足300nm特征尺寸图形复型转移压印的要求.
关键词:压印光刻；硅橡胶；模具
中图分类号:TN305.2文献标识码:A文章编号:0253-987X(2006)03-0337-04