一种新型微机械红外热探测器的吸收层
梁晋涛，刘君华，张进永
（西安交通大学电气工程学院，710049,西安）
摘要:在对新型微机械悬臂梁红外热探测器进行理论建模的基础上，研究了一种适合于此种红外热探测器的吸热层材料--碳纳米管.利用碳纳米管的红外吸收特性，在微机械悬臂梁上生长碳纳米管薄膜作为吸热层，提高了微机械悬臂梁红外探测器的红外吸收能力.研究结果表明，选用碳纳米管薄膜作为微机械悬臂梁红外热探测器的吸热层比选用传统的红外吸收层材料探测分辨率提高了10%，这种基于微电子机械系统技术的传感器与集成电路工艺是兼容的，成本低廉且适合批量生产.
关键词:红外热探测器；微机械；碳纳米管
中图分类号:TN202文献标识码:A文章编号:0253-987X(2005)08-0856-03