微构件弹性模量悬臂梁法测量的模糊建模及分析
朱 强1, 蒋庄德1, 王海容1, 赵则祥2
(1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，710049, 西安；2.
中原工学院纺织工程技术中心，450007, 郑州）
摘要:
在介绍悬臂梁法测量微构件弹性模量原理的基础上，分析了测量和评价过程的主要不确定因素，将模糊数学方法引入弹性模量的评价过程.
在常规模型中，给予有关参数一定的变动范围，以隶属函数表示其取值分布情况，建立了基于模糊集的评价模型.
其中，悬臂梁试件的刚度系数由载荷-有效挠度曲线经模糊加权线性回归拟合获得，其几何尺寸考虑为正态分布模糊数，利用水平截集概念转化为普通集规划问题求解.
对单晶硅（100）悬臂梁试件的实验数据进行了计算，得到不同置信水平下的弹性模量评价区间.
研究结果表明，带有模糊参数的弹性模量评价模型能适当吸收一些不确定因素，同时由于考虑了测量中多种因素的影响，评价结果与实际情况符合较好，因此更具有参考价值.
关键词: 悬臂梁法；微构件；弹性模量；模糊模型；隶属函数
中图分类号: TG115.5 文献标识码: A 文章编号: 0253-987X(2005)05-0517-05