刘红忠，卢秉恒，丁玉成，李寒松，严乐
（西安交通大学机械工程学院，710049，西安）
摘要：依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计，应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算，确定了系统的自然频率，并由此设计出双伺服环的控制系统．控制系统由2根循环滚珠丝杠构成宏定位，3个压电驱动器构成微定位.在系统软件中，采用Chebyshev数字滤波器进行去噪，使整个定位系统控制在200 mm的行程中，其定位精度达到了8 nm.对于由压电驱动器（PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差，系统采用EMM(Exact Model Matching)控制策略，最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低5倍以上，使得正反向运动几乎落在同一曲线内，实现了对压印光刻工艺集成电路制造中的高精度定位要求.
关键词：超高精度；宏定位台；精定位台；双伺服控制
中图分类号：TH112；TH113.1