| 第37卷 第2期 | 西 安 交 通 大 学 学 报 | Vol.37 No2 |
| 2003年2月 | Journal of Xi'an Jiaotong University |
Jan.2003 |
| 一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探 韩建强,朱长纯,袁寿财,刘君华,卢文科 (西安交通大学电子与信息工程学院,710049,西安) 摘要:设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器,其核心部分是一个电热激励/压敏电桥拾振的硅/二氧化硅微桥谐振器或微桥谐振器阵列．通过调节施加在压敏电桥上的电压大小来改变桥的平均温度和轴向应变,可调节滤波器的中心频率．理论研究表明:中心频率与电桥电压的平方成线性关系;中心频率的可调节范围可通过减小梁的宽度和压敏电桥的电阻来扩展．所制作的滤波器其频率可调节范围达545%,品质因数达8 000以上． 关键词:带通滤波器;微桥;微桥阵列;轴向应变 中图分类号:TN304.02文献标识码:A文章编号:0253-987X(2003)02-0136-03 |