晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究
杨宏¹,王鹤¹,于化丛²,奚建平²,胡宏勋²,陈光德¹
（1．西安交通大学理学院，710049，西安；2．上海交通大学太阳能研究所）

摘要：为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率，研究了用等离子增强化学气相沉积（PECVD）的SiN_x:H作为晶体硅太阳电池的表面钝化及减反射膜对电池性能的影响，并采用不同的工艺路线制备了不同类型的电池．实验发现：同SiNx:H比较，SiN_x:H/SiO₂双层光学减反射结构对晶体硅太阳电池能起到更加有效的表面钝化作用，提高了太阳电池的光电转换效率．基于界面物理，提出了一种新的能带模型，解释了用不同实验方法制作的晶体硅太阳电池性能的差异．
关键词：太阳电池；表面钝化；SiN_x:H；等离子增强化学气相沉积
中图分类号：TM914.4